Ang mga lente sa F-Theta kasagarang gigamit kauban sa mga salamin sa pag-scan sa galvanometer sa mga sistema sa pag-ukit, pagputol, ug pagmarka sa laser. Kasagaran ang distorsyon sa F-Theta sa lente gihuptan nga ubos sa 1% aron makahimo kini og tukma nga lugar sa patag nga natad sa eroplano sa imahe.
Pagkamatugtanon sa Diametro: +0/-0.13mm
Pagkamatugot sa Gibag-on: ±0.25mm
Pagkamatugtanon sa Gitas-on sa Focal: ±2%
Pagkalainlain sa Gibag-on sa Ngilit (ETV): ≤3 arko min.
Klaro nga Apertura: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Kalidad sa Ibabaw: 40-20 SD
AR Coating: R<0.2% kada nawong @10.6μ